真空断路器目前较易出现的问题有很多种，比如真空断路器灭弧室漏气，机构卡涩，辅助断路 器转换不正确引起跳闸线圈烧坏，断路器跳合闸不正确，断路器的弹跳及行程不合格，断路器本体 绝缘子瓷瓶因与拉杆距离太近被打坏等。所以为了尽量减少问题的发生，这就需要技术人员对设备的检修维修。对于定期检修的高压真空断路器，共有以下几方面内容：
需半年检修一次：
1、对高压真空断路器的传动机构的外观进行检查、清灰，上润滑油脂；拧紧松动的紧固件；对传动机构的检查是保证断路器可靠分合的保证；对断路器清灰，使其清洁，保证安全运行；涂润滑油脂，使机构灵活自如，减少磨擦、磨损。
2、检查合闸线圈铁心是否卡滞，合闸功是否满足要求，掣子过死点情况(死点过大会造成分闸困难，过小则易脱落)。
3、销子情况：片状销子是否磨损过薄；柱状销子是否弯曲或有脱落可能。
4、缓冲器：油压式缓冲器是否渗漏油、油量少或失去作用；弹簧缓冲器是否起作用。
5、跳闸铁芯活动是否自如。
6、绝缘构件是否有可视缺陷，如有缺陷，应使用2500V摇表测其绝缘情况确定是否更换并作记录。
7、用双臂电桥测量合闸后开关的直流电阻(应不大于40µΩ)，并作记录，如大于µΩ,应更换灭弧室。
8、检查灭弧室有无破裂、内部零件有无老化。9)检查二次线路并测量二次线路的绝缘电阻。
需1年检修一次：
1、合闸时间：直流电磁不大于0.15s，弹簧储能不大于0.15s；分闸时间不大于0.06s；三项分闸的同期性≤2ms；
2、合闸触头弹跳时间≤5ms；
3、平均合闸速度0.55m/s±0.15m/s；
4、平均分闸速度(接触油缓冲器前)1m/s±0.3m/sc
测量额定绝缘水平，一般只测lmin工频耐压42kV，无闪络；无条件可以不做真空度测量，但必须进行相间、断口间工频耐压试验，要求42kV或更高(无工频条件可用直流代替)。使用5～10年的真空断路器需由生产厂家凋整触头开距、接触行程、油缓冲器缓冲行程、相间中心距、三项分闸同期性、合闸触头接触压力、弹跳时间、动静触头累计允许磨损厚度等。
按检修计划进行检修，并将内容记录建档，为真空断路器的维护和正常运行提供了保障。